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Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.

최신 소프트웨어를 PC에서 무료로 사용하세요 .

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DC 전류-전압
(I-V) 범위

10aA - 1A
0.2µV – 210V

커패시턴스-전압
(C-V) 범위

1kHz – 10MHz
± 30V DC 바이어스

펄스형 I-V
범위

±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/sec, 5ns 샘플링 레이트

 

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

파라메트릭 분석 정보를 빠르고 선명하게 제공

확실한 분석 기능을 발전시키는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 설정부터 특성화 테스트 실행 단계까지 소요되는 시간을 최대 50%까지 단축해 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공할 수 있습니다. 또한 임베디드 측정 전문 지식을 통해 최상의 테스트 지침을 제공하고 결과로 도출된 측정값에 대해 최고의 신뢰도를 부여합니다.

주요 특징

  • DC I-V, C-V 및 펄스형 I-V 측정 유형에 사용되는 고급 측정 하드웨어
  • Clarius 소프트웨어에 포함된 사용자 수정 가능한 수백 가지의 애플리케이션 테스트를 통해 즉시 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 작성 및 분석 기능

정확한 C-V 특성화

Keithley의 최신 커패시턴스-전압 장치(CVU), 4215-CVU로 한 자릿수 펨토패럿을 측정 하십시오. 업계를 선도하는 Keithley의 CVU 아키텍처에 1V AC의 소스를 통합하면 4215-CVU에서 1kHz ~ 10MHz의 주파수에서 낮은 노이즈의 커패시턴스 측정값을 제공합니다.

주요 특징

  • 1V AC의 소스 전압을 구동할 수 있는 동급 최초의 C-V 미터
  • 1kHz의 주파수 분해능(범위: 1 kHz ~ 10MHz)
  • 커패시턴스, 전도도 및 어드미턴스 측정
  • 4200A-CVIV 멀티스위치로 최대 네 개의 채널 측정

4215-CVU로 펨토패럿(1e-15F) 커패시턴스 측정

4200A SCS Front Femtofarad

측정. 전환. 반복

4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요 특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기

I-V 특성화를 위한 안정적인 저전류 측정

4201-SMU 및 4211-SMU 모듈을 사용하면 고커패시턴스 시스템에서 안정적인 저전류 측정을 달성할 수 있습니다. 선택 가능한 네 가지 모델의 SMU(source measure unit)를 통해 모든 I-V 측정 요구 사항에 맞추어 4200A-SCS를 사용자 정의할 수 있습니다. Keithley는 현장 설치 가능한 장치와 선택적인 프리앰프 모듈을 제공함으로써 다운타임이 거의 없이 가장 정확한 저전류 측정을 수행하도록 해줍니다.

4201-SMU 및 4211-SMU를 사용해 높은 테스트 연결 커패시턴스로 안정적인 저전류 측정 수행하기

주요 특징

  • 장비를 공장에 되돌려 보내지 않고 SMU 추가
  • 펨토암페어 측정하기
  • 최대 9개 SMU 채널
  • 긴 케이블 또는 큰 척에 최적화

분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된

4200A-SCS 파라미터 분석기는 MPI Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336 극저온 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동/반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요 특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀싱
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능

비용 절감 및 투자 보호

Keithley 케어 플랜은 요청 시 서비스 이벤트 비용의 일부만으로 신속한 고품질 서비스를 제공합니다. 클릭 한 번이나 전화 한 통화로 수리 보증을 확보하여 견적서나 구매 주문서가 필요하지 않고 승인이 지연되지도 않습니다.

자세히 보기

 

4200A SCS Front Femtofarad
데이터 시트 모델 설명 가격
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PKA
고해상도 IV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 1개
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PKB
고해상도 IV 및 CV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 1개
4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PKC
고전력 IV 및 CV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4211-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 고전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 2개
4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치 1개
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
데이터 시트 보기 4200-BTI-A
초고속 NBTI/PBTI
4200-BTI-A는 최첨단 실리콘 CMOS 기술의 복잡한 NBTI 및 PBTI 측정에 최적화된 패키지로 다음이 포함됩니다.
  • (1) 4225-PMU 초고속 I-V 모듈
  • (2) 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈
  • ACS (Automated Characterization Suite) 소프트웨어
  • 초고속 BTI 테스트 프로젝트 모듈
  • 케이블
견적 요청
4210CVU-2

펨토패럿 커패시턴스 측정

4215-CVU 모듈로 펨토패럿(femtofarad) 이하의 커패시턴스를 측정하십시오. 1V AC를 구동하면 4215-CVU에서 1fF 커패시터를 측정할 때 6 아토패럿(attofarad)만큼이나 낮은 노이즈 레벨을 달성할 수 있습니다. 이는 커패시턴스를 측정하고 중요한 파라미터를 측정하기 위한 Clarius 소프트웨어에 포함된 수십 개의 애플리케이션 중 하나에 불과합니다.

4215-CVU로 펨토패럿(1e-15F) 커패시턴스 측정

옵션 커패시턴스 및 AC 임피던스 측정

주요 특징

  • 내장 펨토패럿 측정 기능
  • 1kHz에서 10MHz에 이르는 10,000개의 주파수 단계
  • 사용자 라이브러리로 장치에 대한 테스트 사용자 정의

반도체 및 NVM 안정성

완벽한 펄스형 I-V 특성화로 테스트에 새로운 기술을 투입합니다. 4200A-SCS에는 플로팅 게이트 플래시부터 ReRAM 및 FeRAM에 이르는 NVRAM 기술에 대한 지원 및 실행 준비가 완료된 테스트가 포함되어 있습니다. 전류 및 전압에 대한 듀얼 소싱 및 측정 기능을 통해 과도 및 I-V 도메인 특성화가 가능합니다.

MOSFET 장치의 Hot Carrier Induced Degradation 평가

비휘발성 메모리 테스트를 위한 단일 나노초 펄스 솔루션

Non-volatile 메모리에 대한 펄스 I-V 특성화 기술

Semiconductor and NVM Reliability
C-V Measurement for High Impedance Applications

높은 임피던스 응용 사례에 대한 C-V 측정

Keithley의 사용자 정의 초저주파수 C-V 기법을 사용하여 높은 저항 샘플의 커패시턴스를 분석합니다. 이 기법은 SMU(Source Measure Unit) 장비만 사용하여 수행되지만 더 높은 주파수 측정을 위해 4210-CVU와 함께 사용할 수도 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석기를 사용하여 높은 임피던스 장치에 대해 초저주파수 커패시턴스-전압 측정 수행

MOSFET/MOSCAP 장치 특성화를 간소화하기 위한 팁과 기술

주요 특징

  • 1pF - 10nF 민감도의 .01 - 10Hz 주파수 범위
  • 3½ digits 일반 분해능, 최소 일반 10fF

긴 케이블 또는 커패시턴스 픽스쳐를 사용하는 경우의 테스트

매우 긴 케이블이나 고캐패시턴스 픽스쳐가 필요한 테스트에는 4201 또는 4211-SMU를 사용하십시오. 이러 SMU는 LCD 테스트 스테이션, 프로버, 스위치 매트릭스 또는 기타 크고 복잡한 테스터에 연결하는 데 이상적입니다. 현장 설치 가능 버전을 사용하면 장치를 서비스 센터로 반송하지 않고도 용량을 추가할 수 있습니다.

Testing when using Long Cables or Capacitive Fixtures
Nanoscale Device Characterization

나노 디바이스 특성화

4200A-SCS는 탄소 나노 튜브와 같은 나노급 전자 제품을 개발할 때 요구되는 측정 사항을 간소화합니다. 4200A-SCS에 미리 구성된 테스트 프로젝트에서 바로 테스트를 시작하고, 작업 영역을 쉽게 확장하십시오. SMU의 펄스형 소스 모드는 저전압 C-V 및 초고속 펄스형 DC 측정(초 단위)과 결합되어 측정 시 발생되는 디바이스 과열 문제를 줄입니다.

탄소 나노 튜브 트랜지스터(CNT FET)의 전기적 특성화

물질 저항률

통합 SMU와 함께 4200A-SCS를 사용하여 4포인트 공직선형(collinear) 프로브 또는 면저항 측정법(van der Pauw)으로 저항률을 쉽게 측정할 수 있습니다. 포함된 테스트는 반복적인 면저항 측정 계산을 자동으로 수행하여 귀중한 연구 시간을 단축합니다. 최대 전류 분해능 10aA 및 10­­­­16옴 이상의 입력 임피던스를 사용하여 보다 정확하고 정밀한 결과를 얻을 수 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석법 및 4점 공선형 프로브를 사용하여 반도체 물질의 저항률 측정

4200A-SCS 파라미터 분석기를 통한 면 저항 측정 및 홀 전압 측정

Resistivity of Materials
MOSFET Characterization

MOSFET 특성화

4200A-SCS는 컴포넌트 또는 웨이퍼상 테스트를 통해 MOS 장치의 전체 특성화에 필요한 모든 장비를 보유할 수 있습니다. 포함된 테스트 및 프로젝트는 MOSCap의 산화물 두께, 임계 전압, 도핑 농도, 이동 이온 농도 등을 해석합니다. 이러한 모든 테스트는 단일 장비 박스의 버튼을 터치하여 실행할 수 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석기를 사용하여 MOS 커패시터(capacitors) C-V 특성화

데이터 시트 모듈 설명 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4225-PMU 초고속 펄스 측정 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4220-PGU 고전압 펄스 발생기 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4210-SMU 고전력 소스 측정 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4210-CVU 커패시턴스-전압 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-CVIV 멀티 스위치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200-PA 원격 프리앰프 모듈 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200-SMU 중간 전력 SMU(소스 측정 장치) 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200-BTI-A 초고속 BTI PKG 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4211-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4215-CVU 커패시턴스-전압 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4201-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT 구성 및 견적 요청