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Keithley 파라메트릭 테스트 시스템

GaN및 SiC를 포함한 오늘날의 아날로그 및 전력 반도체 기술에는 측정 성능을 최대화하고, 광범위한 제품의 혼용을 지원하며, 테스트 비용을 최소화하는 파라메트릭 테스트가 필요합니다. 40년이 넘는 기간 동안, Keithley는 프로세스 통합, 프로세스 제어 모니터링, 생산 다이 정렬(예: 웨이퍼 허용률 또는 정상으로 확인된 다이 테스트) 및 신뢰성 등의 중요한 애플리케이션에서 이를 포함한 여러 중요한 문제를 해결해 왔습니다.

KTE 7 소프트웨어를 사용한 Keithley의 S530 시리즈 파라메트릭 테스트 시스템은 새로운 애플리케이션이 출현하고 요구사항이 변경됨에 따라 성장할 수 있는 고속의 유연한 구성을 제공합니다. S530은 최대 200V의 테스트를 지원하며, S530-HV는 모든 핀에서 최대 1,100V의 테스트를 지원하여 경쟁업체의 솔루션 대비 성능을 최대 50% 향상합니다. KTE 7은 프로버로의 직접 도킹 및 레거시 프로브 카드 재사용, 자동차 표준 IATF-16949의 요구사항을 지원하는 시스템 수준 ISO-17025 핀 교정, 그리고 전체 데이터 상관관계 및 속도 향상을 통해 레거시 S600 및 S400 시스템으로부터의 가장 쉽고 유연한 마이그레이션 경로를 지원하는 선택적인 시스템 테스트헤드입니다.

540 파라메트릭 테스트 시스템은 최대 3kV의 전력 반도체 기기 및 구조에 대해 웨이퍼 레벨 테스트를 수행하기 위한 전자동 48핀 파라메트릭 테스트 시스템입니다. SiC(탄화규소), GaN(질화칼륨)을 포함하는 최신 합성 전력 반도체 물질에서 사용하도록 최적화된 이 완전 통합형 S540은 단일 프로브 터치 다운에서 모든 저전압, 저전압 및 커패시턴스 테스트를 수행할 수 있습니다.

S500 통합 테스트 시스템은 장치, 웨이퍼 또는 카세트 레벨의 반도체 특성화를 위해 고도로 구성 가능한 장비 기반 시스템입니다. 우수성이 입증된 Keithley의 장치를 기반으로 구축된 S500 통합 테스트 시스템은 혁신적인 측정 기능 및 요구 사항에 맞게 확장 가능한 유동적인 시스템을 제공합니다. 고유한 측정 기능과 강력하면서도 유동적인 ACS(Automated Characterization Suite) 소프트웨어를 함께 사용하여, 현재 시판 중인 어떤 유사 시스템에서도 제공되지 않는 포괄적인 애플리케이션과 기능을 이용할 수 있습니다. 

 

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Keithley 파라메트릭 테스트 시스템

S530 특징

  • 테스트헤드를 포함한 유연한 프로버 인터페이스 옵션으로 레거시 Keithley 및 Keysight 설치 지원
  • 산업 표준 KTE 소프트웨어 환경
  • 단일 프로브 터치다운에서 HV및 LV 매개변수의 완전한 테스트
  • 새로운 SRU(System Reference Unit)를 통한 완전 자동화된 시스템 레벨 교정으로 최신 품질 표준 충족
  • KTE 7의 상태 점검 소프트웨어 도구로 시스템 가동 시간 및 데이터 무결성 최대화
  • 일시적인 과전압 또는 과전류 이벤트로부터의 보호가 내장되어 있어 높은 비용이 발생하는 시스템 중단 시간 또는 손상된 웨이퍼 최소화
  • ISO-17025 교정 요구사항 충족 및 IATF-16949 준수 지원

S535 특징

  • 다중 사이트 병렬 또는 시리얼 작업에서 모든 웨이퍼 레벨 DC 파라메트릭 테스트를 자동으로 수행합니다. 단일 프로브 터치다운에서 2개 또는 4개 사이트를 테스트합니다.
  • 최대 64개 테스트 핀: 동시에 4개 사이트 테스트, 사이트당 16개 핀, 동시에 2개 사이트 테스트, 사이트당 32개 핀, 단일 사이트, 시리얼 작업, 64개 핀
  • 최대 100 W 오퍼레이션: 100 V @ 1 A; 200 V @ 100 mA
  • 1 fA, 10 nV 레졸루션 (고속모드), 다중핀, 완전 자동화된 테스트 환경
  • 레거시 키슬리 테스트 시스템과의 호환, 쉬운 테스트 개발 및 빠른 실행 환경을 위한 Linux 기반 KTE(Keithley Test Environment) 시스템 소프트웨어입니다.
  • 키슬리 S530 스타일 프로브 카드 인프라는 레거시 S400 애플리케이션도 지원합니다.
  • 300mm 웨이퍼 제조와 SECS/GEM 통합 제공

S540 특징

  • 케이블 또는 프로브 카드 인프라를 변경하지 않고 단일 프로브 터치 다운에서 최대 48개 핀에 대해 고전압 브레이크 다운, 커패시턴스 및 저전압 측정을 비롯한 모든 웨이퍼 레벨 파라메트릭 테스트를 자동으로 수행
  • 테스트 핀의 수동 재구성 없이 최대 3kV에서 Ciss, Coss 및 Crss와 같은 트랜지스터 커패시턴스 측정 수행
  • 고속, 다중 핀, 완전 자동화 테스트 환경에서 낮은 레벨의 측정 수행
  • Linux 기반 KTE(Keithley 테스트 환경) 시스템 소프트웨어를 사용하여 개발 테스트 및 실행을 빠르고 쉽게 진행 가능
  • 프로세스 통합, 프로세스 제어 모니터링 및 프로덕션 다이 정렬에서 전자동 또는 반자동 애플리케이션에 이상적임
  • 실험실 등급의 측정 성능을 유지하면서 테스트 시간, 테스트 설정 시간 및 실험실 공간을 최소화하여 소유 비용 절감
  • 300mm 웨이퍼 제조와 SECS/GEM 통합 제공

S500 특징

  • 펨토암페어 미만 단위의 측정을 비롯한 전체 SMU(소스 측정 장치) 장비 사양이 제공되므로 거의 모든 장치에서 폭넓은 측정이 가능합니다.
  • 메모리 특성화, 충전 펌핑, 단일 펄스 PIV(충전 트랩 분석) 및 PIV 스윕(자체 가열 방지)을 위한 펄스 발생 및 초고속 I-V가 제공됩니다.
  • Keithley의 시스템 활성화 및 확장 가능 SMU 장비를 통해 채널이 적거나 많은 시스템(병렬 테스트 포함)을 제공합니다.
  • 전력 MOSFET 및 디스플레이 드라이버와 같은 장치 테스트를 위한 고전압, 전류 및 전원 측정 장치가 제공됩니다.
  • 스위칭, 프로브 카드 및 케이블을 통해 시스템을 DUT에 연결할 수 있습니다.