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Keithley ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어

Keithley의 ACS(자동 특성화 제품군)는 장치 특성화, 파라메트릭 테스트, 안정성 테스트 및 단순 기능 테스트용으로 설계된 유연한 대화형 소프트웨어 테스트 환경입니다. ACS는 일부 QA 실험실용 벤치탑 장비부터 완전히 통합/자동화된 랙 기반 테스트 시스템에까지, 광범위한 Keithley 장비와 시스템, 하드웨어 구성 및 테스트 설정을 지원합니다. ACS를 갖춘 사용자는 프로그래밍 지식을 배우지 않고도 테스트를 빠르게 수행할 수 있는 준비와 역량을 갖춘 것입니다.

 

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특성화 애플리케이션용 프로그래밍 기본 설정을 갖춘 유연성

ACS의 특징은 장비 제어, 데이터 분석, 시스템 자동화를 수행하기 위한 Python 코드와 TSP® 스크립트를 개발하는 데 필요한 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 독립된 도구인 스크립트 편집기입니다. 이 제품은 GUI 디자인을 생성, 개발하고 사용자 라이브러리와 모듈을 관리할 수 있는 직관적인 방법을 제공합니다.

데이터 수집 프로세스 자동

ACS용 웨이퍼 프로버 자동화 옵션을 사용하면 다양한 인기 반자동/전자동 웨이퍼 프로브 스테이션을 테스트 설정에 연결하여 대용량 데이터를 신속하게 캡처하기가 수월해집니다. 이 옵션에는 보관 기능, 카세트 샘플 계획 유틸리티 및 사후 테스트 카세트/웨이퍼 검토 유틸리티를 갖춘 웨이퍼 설명 유틸리티, 실시간 웨이퍼 맵이 포함되어 있습니다. ACS에 내장된 여러 가지 도구와 기능은 자동화 장치 특성화 기능을 향상시켜 줍니다.

테스트 프로젝트 및 결과 공유

ACS는 광범위한 하드웨어 구성 전반에 걸쳐 작동하는 일반적인 핵심 요소 집합을 제공하여 시간은 단축하고 생산성은 증진시켜 줍니다. 시스템이 한 하드웨어에서 다른 하드웨어로 일관되게 구현되므로, 단일 장치 구성 요소 특성화에 사용되는 ACS 기반 시스템 관련 지식을 웨이퍼 수준 테스트용으로 디자인된 다른 시스템에 손쉽게 전달할 수 있습니다.

Keithley 하드웨어 생산성 극대화

ACS 도구는 테스트 개발 과정을 간소화하고 시스템에 연결된 각 Keithley 장비의 속도를 극대화합니다. 이와 함께 ACS 및 Keithley TSP 기반 하드웨어는 업계 최고 수준의 처리량을 제공하여 목표를 달성하는 데 필요한 데이터를 가져오기 전 새 프로그래밍 개념이나 언어를 학습하는 데 시간을 할애할 필요가 없어 테스트 비용을 절감해 줍니다.

지원되는 장비

장비 유형 모델 ACS Edition
SMU 장비 2600B 시리즈: 2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B ,2635B, 2636B
2600A 시리즈: 2601A, 2602A ,2611A, 2612A, 2635A, 2636A
2400 그래픽 터치스크린 시리즈: 2450, 2460, 2460-NFP, 2460-NFP-RACK, 2460-RACK, 2461, 2461-SYS, 2470
2400 표준 시리즈: 2401, 2410, 2420, 2430, 2440
2606B 고밀도: 2606B
고전력용 2650 시리즈: 2651A, 2657A
ACS Basic
ACS Standard
파라미터 분석기 4200A ACS Basic
ACS Standard
DMM DMM7510, 2010 시리즈 ACS Basic
ACS Standard
스위치 매트릭스 HVM1212A ACS Basic
ACS Standard
스위칭 시스템 707A/B, 708A/B, 3700A ACS Basic
ACS Standard
펄스 발생기 3400 시리즈 ACS Basic
ACS Standard
프로버 TEL P8/P12, TEL T78S/80S, ACCRETECH(Tokyo Semitsu) TSK9/UF200/UF3000/APM60/70/80/90, MPI SENTIO TS2000/TS2000-SE/TS2000-HP/TS3000, FormFactor(Cascade) Summit 12000, FormFactor(Cascade) S300, Suss MicroTec PA200/Cascade CM300, Electroglas EG2X/EG4X, Wentworth Pegasus 300S, Signatone CM500, Yang Sagi3, Micromanipulator P300A ACS Standard

참고:

  1. ITM은 24xx TTI 장비, 26xx 장비 및 혼합 이용 사례를 지원합니다.
  2. 사용자는 STM 스크립트로 TSP 장비를 제어할 수 있습니다. 기존 ACS STM 라이브러리는 라이브러리 정의별로 특정 장비를 지원합니다.
  3. 사용자는 PTM 스크립트로 모든 장비를 제어할 수 있습니다. 기존 ACS PTM 라이브러리는 라이브러리 정의별로 특정 장비를 지원합니다.

텍트로닉스 소프트웨어 소개

모델 Product 설명 유형 정가
ACS-BASICFL-UP ACS Basic Edition 영구 플로팅 라이선스 연장 지원용 연간 유지 관리 라이선스 가입 US $450
구성 및 견적
ACS-STANDARDFL-UP ACS Standard Edition 영구 플로팅 라이선스 연장 지원용 연간 유지 관리 라이선스 가입 US $2,700
구성 및 견적
ACS-BASICFL ACS Basic Edition ACS Basic Edition 장비 제어 소프트웨어, 영구 플로팅 라이선스 영구 US $2,900
구성 및 견적
ACS-WLRFL-UP ACS Wafer Level Reliability Edition 영구 플로팅 라이선스 연장 지원용 연간 유지 관리 라이선스 가입 US $4,400
구성 및 견적
ACS-STANDARDFL ACS Standard Edition ACS Standard Edition 장비 제어 소프트웨어, 영구 플로팅 라이선스 영구 US $18,000
구성 및 견적
ACS-WLRFL ACS Wafer Level Reliability Edition ACS Wafer Level Reliability 소프트웨어, 영구 플로팅 라이선스 영구 US $29,000
구성 및 견적

실험실에서 제조 환경까지 아우르는 다양한 응용 분야

ACS 기반의 통합 테스트 시스템은 파라메트릭 다이 정렬, 고전력 반도체 구성 요소 특성화, 와이퍼 레벨 안정성 테스트용으로 사용하기에 완벽한 솔루션입니다. 적절한 반자동/전자동 프로브 스테이션과 연결하면 각각의 하드웨어 구성 및 테스트 프로젝트 개발 업무를 특정 작업에 맞춰 손쉽게 최적화할 수 있습니다.

Keithley 고전력 시스템 SMU 장비 및 ACS Basic Edition 소프트웨어 애플리케이션 노트를 사용한 전력 반도체 장치 테스트

다중 사이트 병렬 테스트 애플리케이션 노트용 ACS 통합 테스트 시스템

GaN HEMT I-V 특성화용 전력 시퀀싱

'일반적으로 켜져 있는' 특성 때문에 GaN HEMT의 경우 I-V 특성화 중에 특정한 전력 시퀀싱이 필요합니다. ACS 소프트웨어는 해당하는 고유 I-V 특성을 캡처하기 위해 장치를 손상시키지 않고도 장치의 GaN HEMT 특성화용 전력 시퀀싱을 지원합니다.

GaN HEMT 특성화용 전력 시퀀싱 애플리케이션 노트

반도체 워크플로 전반에 걸쳐 애플리케이션 제공

ACS Basic Edition 및 ACS Standard Edition 소프트웨어는 반도체 워크플로 전반에서 사용되어 반도체 장치의 세부적인 특성화에 필요한 광범위한 테스트를 수행합니다. ACS Basic 및 ACS Standard 통합 테스트 시스템은 다음과 같은 기능을 제공합니다.

  • 장치, 웨이퍼 및 카세트 레벨에서 테스트
  • 유연한 구성, 소프트웨어 및 애플리케이션 사용자 정의
  • 대화형 및 자동화 시스템 작동
  • 테스트 모듈 개발용 스크립트 도구 및 GUI의 강력한 조합
Serving Applications Across the Semiconductor Workflow

개발 단계

ACS Basic Edition 소프트웨어는 구성 요소와 개별(패키지) 반도체 장치의 파라메트릭 테스트용으로 최적화되어 있습니다. 이 소프트웨어는 다음과 같은 핵심 기능을 통해 연구 개발 분야의 기술자 및 엔지니어의 생산성을 극대화해 줍니다.

  • 패키지 장치용으로 디자인됨(MOSFET, BJT, IGBT, 다이오드, 레지스터 등)
  • 풍부한 테스트 라이브러리 집합을 통해 프로그래밍 과정 없이 쉽고 빠르게 테스트 설정 및 실행
  • 내장된 데이터 분석 도구를 통해 파라메트릭 데이터를 신속하게 분석
  • Keithley 시리즈 2600B (2604B, 2614B 또는 2634B 제외), 시리즈 2400, 2651A, 2657A 시스템 SourceMeter SMU 장비 지원

통합 단계

ACS Standard Edition 소프트웨어는 견고한 프로세스 개발 및 웨이퍼 레벨 안정성(WLR) 등 반자동 웨이퍼를 테스트하기 위한 통합 단계에서 사용됩니다. 이 소프트웨어는 핀별 SMU 시스템 레벨 테스트용으로 사용할 수 있습니다. ACS WLR 소프트웨어가 제공하는 이점은 다음과 같습니다.

  • 개별 웨이퍼 또는 전체 카세트를 테스트할 수 있는 전자동 기능
  • 유연한 테스트 설정 및 병렬 테스트용 소프트웨어
  • JEDEC 표준 테스트 방식과 호환되는 RTM(안정성 테스트 모듈)
  • 사용자 정의된 테스트 모듈/절차의 생성 지원

생산 단계

ACS Standard Edition 소프트웨어는 PCM(프로세스 제어 모니터링), WAT(웨이퍼 수락 테스트) 및 다이 정렬용으로 완전히 통합/자동화된 랙 기반 사용자 지정 테스트 시스템에서도 사용됩니다. ACS Standard 소프트웨어에 내장된 많은 도구와 기능은 다음과 같이 자동화된 장치 특성화 기능을 향상시켜 줍니다.

  • 웨이퍼 및 카세트 레벨 자동화
  • 장치 및 테스트를 사이트/하위 사이트에 매핑하기 위한 테스트 맵
  • 대화형 프로브 스테이션 제어 모드
  • 단일 또는 웨이퍼별 Keithley 데이터 파일