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피드백
Keithley ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어
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특성화 애플리케이션용 프로그래밍 기본 설정을 갖춘 유연성
ACS의 특징은 장비 제어, 데이터 분석, 시스템 자동화를 수행하기 위한 Python 코드와 TSP® 스크립트를 개발하는 데 필요한 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 독립된 도구인 스크립트 편집기입니다. 이 제품은 GUI 디자인을 생성, 개발하고 사용자 라이브러리와 모듈을 관리할 수 있는 직관적인 방법을 제공합니다.
데이터 수집 프로세스 자동
ACS용 웨이퍼 프로버 자동화 옵션을 사용하면 다양한 인기 반자동/전자동 웨이퍼 프로브 스테이션을 테스트 설정에 연결하여 대용량 데이터를 신속하게 캡처하기가 수월해집니다. 이 옵션에는 보관 기능, 카세트 샘플 계획 유틸리티 및 사후 테스트 카세트/웨이퍼 검토 유틸리티를 갖춘 웨이퍼 설명 유틸리티, 실시간 웨이퍼 맵이 포함되어 있습니다. ACS에 내장된 여러 가지 도구와 기능은 자동화 장치 특성화 기능을 향상시켜 줍니다.
테스트 프로젝트 및 결과 공유
ACS는 광범위한 하드웨어 구성 전반에 걸쳐 작동하는 일반적인 핵심 요소 집합을 제공하여 시간은 단축하고 생산성은 증진시켜 줍니다. 시스템이 한 하드웨어에서 다른 하드웨어로 일관되게 구현되므로, 단일 장치 구성 요소 특성화에 사용되는 ACS 기반 시스템 관련 지식을 웨이퍼 수준 테스트용으로 디자인된 다른 시스템에 손쉽게 전달할 수 있습니다.
Keithley 하드웨어 생산성 극대화
ACS 도구는 테스트 개발 과정을 간소화하고 시스템에 연결된 각 Keithley 장비의 속도를 극대화합니다. 이와 함께 ACS 및 Keithley TSP 기반 하드웨어는 업계 최고 수준의 처리량을 제공하여 목표를 달성하는 데 필요한 데이터를 가져오기 전 새 프로그래밍 개념이나 언어를 학습하는 데 시간을 할애할 필요가 없어 테스트 비용을 절감해 줍니다.
지원되는 장비
| 장비 유형 | 모델 | ACS Edition |
|---|---|---|
| 민감 | 6200 시리즈, 2182A | ACS Basic ACS Standard |
| SMU 장비 | 2600B 시리즈: 2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B ,2635B, 2636B 2600A 시리즈: 2601A, 2602A ,2611A, 2612A, 2635A, 2636A 2400 그래픽 터치스크린 시리즈: 2450, 2460, 2460-NFP, 2460-NFP-RACK, 2460-RACK, 2461, 2461-SYS, 2470 2400 표준 시리즈: 2401, 2410, 2420, 2430, 2440 2606B 고밀도: 2606B 고전력용 2650 시리즈: 2651A, 2657A |
ACS Basic ACS Standard |
| 파라미터 분석기 | 4200A | ACS Basic ACS Standard |
| DMM | DMM7510, DMM6500, 2010 시리즈 | ACS Basic ACS Standard |
| 스위칭 시스템 | 707A/B, 708A/B, 3700A | ACS Basic ACS Standard |
| 펄스 발생기 | 3400 시리즈 | ACS Basic ACS Standard |
| 프로버 | TEL P8/P12, TEL T78S/80S, ACCRETECH (Tokyo Semitsu) TSK9/UF200/UF3000/APM60/70/80/90, MPI SENTIO TS2000/TS2000-SE/TS2000-HP/TS3000, FormFactor (Cascade) Summit 12000, FormFactor (Cascade) S300, Suss MicroTec PA200/Cascade CM300, Electroglas EG2X/EG4X, Wentworth Pegasus 300S, Signatone CM500, Yang Sagi3, Micromanipulator P300A, Vector Semiconductor AX/VX Series, Apolowave AP200/AP300, MJC AP-80, Semiprobe SPFA Prober, HiSOL | ACS Standard |
참고:
- ITM은 24xx TTI 장비, 26xx 장비 및 혼합 이용 사례를 지원합니다.
- 사용자는 STM 스크립트로 TSP 장비를 제어할 수 있습니다. 기존 ACS STM 라이브러리는 라이브러리 정의별로 특정 장비를 지원합니다.
- 사용자는 PTM 스크립트로 모든 장비를 제어할 수 있습니다. 기존 ACS PTM 라이브러리는 라이브러리 정의별로 특정 장비를 지원합니다.
ACS Basic Edition 주요 기능
US $428
3개월 구독
US $1,380
12개월 구독
US $3,500
영구
- 패키지 장치용으로 디자인됨(MOSFET, BJT, IGBT, 다이오드, 레지스터 등)
- 풍부한 테스트 라이브러리 집합을 통해 프로그래밍 과정 없이 쉽고 빠르게 테스트 설정 및 실행
- 내장된 데이터 분석 도구를 통해 파라메트릭 데이터를 신속하게 분석
- 자동화된 하드웨어 관리 도구를 사용하여 장비 구성 간소화
계속하려면 라이선스 옵션을 선택하십시오
ACS Standard Edition 주요 기능
US $8,490
12개월 구독
영구
- 다음 테스트 모듈 지원: GUI, Lua Script, Python, C
- 광범위한 응용 분야를 수용할 수 있도록 다양한 장비 및 프로버 지원
- 직관적인 GUI는 벤치탑에서 완전히 자동화된 파라메트릭 테스터에 이르기까지 IV 테스트, 분석 및 결과를 단순화하여 사용자 경험 향상
- 테스트 기능 향상을 위해 장치, 하위 사이트, 사이트, 웨이퍼 및 카세트 수준에서 테스트 개발 및 실행
계속하려면 라이선스 옵션을 선택하십시오
ACS WLR Edition 주요 기능
US $13,600
12개월 구독
영구
- 2 ~ 44채널의 시스템 구성
- 포괄적인 JEDEC 호환 테스트 제품군
- 신기술과 성숙 기술 모두에 최적화
- 순차 및 병렬 테스트 모두 지원
- 완전 자동 단일 사이트 및 다중 사이트 기능
- 널리 사용되는 모든 웨이퍼 프로브 스테이션과 호환
- 실시간 플로팅 및 웨이퍼 매핑
계속하려면 라이선스 옵션을 선택하십시오
실험실에서 제조 환경까지 아우르는 다양한 응용 분야
ACS 기반의 통합 테스트 시스템은 파라메트릭 다이 정렬, 고전력 반도체 구성 요소 특성화, 와이퍼 레벨 안정성 테스트용으로 사용하기에 완벽한 솔루션입니다. 적절한 반자동/전자동 프로브 스테이션과 연결하면 각각의 하드웨어 구성 및 테스트 프로젝트 개발 업무를 특정 작업에 맞춰 손쉽게 최적화할 수 있습니다.
Keithley 고전력 시스템 SMU 장비 및 ACS Basic Edition 소프트웨어 애플리케이션 노트를 사용한 전력 반도체 장치 테스트
안정성 처리량 증가
안정성 테스트는 품질을 향상하고, 고장률을 줄이며, 높은 수율을 보장하고, 신뢰도를 높입니다. ACS 소프트웨어는 대용량 안정성 테스트를 위한 공유 스트레스 방법론을 지원하여 테스트 시간을 단축합니다.
델타 모드를 사용한 초저저항 측정
2182A/622X 조합 역시 DUT(피시험 장치)에서 전력을 많이 소모하지 않고 저항을 측정할 수 있으므로 대다수 나노 기술 적용 분야에 적합합니다. DUT에서 전력을 많이 소모하는 경우 결과를 사용할 수 없거나, DUT가 손상될 수도 있습니다. ACS 소프트웨어로 델타 모드 테스트를 수행하여 이러한 민감한 측정값을 테스트 시스템에 통합합니다.
GaN HEMT I-V 특성화용 전력 시퀀싱
'일반적으로 켜져 있는' 특성 때문에 GaN HEMT의 경우 I-V 특성화 중에 특정한 전력 시퀀싱이 필요합니다. ACS 소프트웨어는 해당하는 고유 I-V 특성을 캡처하기 위해 장치를 손상시키지 않고도 장치의 GaN HEMT 특성화용 전력 시퀀싱을 지원합니다.
반도체 워크플로 전반에 걸쳐 애플리케이션 제공
ACS Basic Edition 및 ACS Standard Edition 소프트웨어는 반도체 워크플로 전반에서 사용되어 반도체 장치의 세부적인 특성화에 필요한 광범위한 테스트를 수행합니다. ACS Basic 및 ACS Standard 통합 테스트 시스템은 다음과 같은 기능을 제공합니다.
- 장치, 웨이퍼 및 카세트 레벨에서 테스트
- 유연한 구성, 소프트웨어 및 애플리케이션 사용자 정의
- 대화형 및 자동화 시스템 작동
- 테스트 모듈 개발용 스크립트 도구 및 GUI의 강력한 조합
개발 단계
ACS Basic Edition 소프트웨어는 구성 요소와 개별(패키지) 반도체 장치의 파라메트릭 테스트용으로 최적화되어 있습니다. 이 소프트웨어는 다음과 같은 핵심 기능을 통해 연구 개발 분야의 기술자 및 엔지니어의 생산성을 극대화해 줍니다.
- 패키지 장치용으로 디자인됨(MOSFET, BJT, IGBT, 다이오드, 레지스터 등)
- 풍부한 테스트 라이브러리 집합을 통해 프로그래밍 과정 없이 쉽고 빠르게 테스트 설정 및 실행
- 내장된 데이터 분석 도구를 통해 파라메트릭 데이터를 신속하게 분석
- Keithley 시리즈 2600B, 시리즈 2400, 2651A, 2657A 시스템 SourceMeter SMU 장비 지원
통합 단계
ACS Standard Edition 소프트웨어는 견고한 프로세스 개발 및 웨이퍼 레벨 안정성(WLR) 등 반자동 웨이퍼를 테스트하기 위한 통합 단계에서 사용됩니다. 이 소프트웨어는 핀별 SMU 시스템 레벨 테스트용으로 사용할 수 있습니다. ACS WLR 소프트웨어가 제공하는 이점은 다음과 같습니다.
- 개별 웨이퍼 또는 전체 카세트를 테스트할 수 있는 전자동 기능
- 유연한 테스트 설정 및 병렬 테스트용 소프트웨어
- JEDEC 표준 테스트 방식과 호환되는 RTM(안정성 테스트 모듈)
- 사용자 정의된 테스트 모듈/절차의 생성 지원
생산 단계
ACS Standard Edition 소프트웨어는 PCM(프로세스 제어 모니터링), WAT(웨이퍼 수락 테스트) 및 다이 정렬용으로 완전히 통합/자동화된 랙 기반 사용자 지정 테스트 시스템에서도 사용됩니다. ACS Standard 소프트웨어에 내장된 많은 도구와 기능은 다음과 같이 자동화된 장치 특성화 기능을 향상시켜 줍니다.
- 웨이퍼 및 카세트 레벨 자동화
- 장치 및 테스트를 사이트/하위 사이트에 매핑하기 위한 테스트 맵
- 대화형 프로브 스테이션 제어 모드
- 단일 또는 웨이퍼당 Keithley 데이터 파일(KDF) 및/또는 CSV 파일