Keithley 파라메트릭 테스트 시스템

S530 파라메트릭 테스트 시스템 은 광범위한 기기와 기술을 처리해야 하는 생산 및 실험실 환경용으로 설계되었으며 업계 최고 레벨의 유동적인 테스트 플랜, 자동화, 프로브 스테이션 통합 및 테스트 데이터 관리 기능을 제공합니다. 키슬리는 이러한 테스트 솔루션의 설계와 관련하여 전 세계 고객에게 광범위한 표준 및 사용자 정의 파라메트릭 테스터를 30년 이상 제공해 온 전문 업체입니다.

S535 멀티 사이트 웨이퍼 인수 테스트 시스템 은 제조 워크플로우에 걸친 다양한 애플리케이션에서 아날로그, 전력, 혼합 신호 및 디스크리트 소재 테스트용 고전력, 고해상도의 웨이퍼 레벨 솔루션입니다. 종래의 비동기식 병렬 테스트 체계는 한 사이트의 여러 기기를 동시에 테스트하지만, 이와 달리 S535의 멀티 병렬(multi-parallel) 테스트 방법은 여러 사이트의 여러 기기를 동시에 테스트합니다. 이를 통해 프로버 인덱스 시간을 2배 이상 단축하여 제조 생산성을 높이고 테스트 비용을 절감할 수 있습니다.

540 파라메트릭 테스트 시스템 은 최대 3kV의 전력 반도체 기기 및 구조에 대해 웨이퍼 레벨 테스트를 수행하기 위한 전자동 48핀 파라메트릭 테스트 시스템입니다. SiC(탄화규소), GaN(질화칼륨)을 포함하는 최신 합성 전력 반도체 물질에서 사용하도록 최적화된 이 완전 통합형 S540은 단일 프로브 터치 다운에서 모든 저전압, 저전압 및 커패시턴스 테스트를 수행할 수 있습니다.

S500 통합 테스트 시스템 은 기기, 웨이퍼 또는 카세트 레벨의 반도체 특성화를 위해 고도로 구성 가능한 장비 기반 시스템입니다. 우수성이 입증된 Keithley의 장치를 기반으로 구축된 S500 통합 테스트 시스템은 혁신적인 측정 기능 및 요구 사항에 맞게 확장 가능한 유동적인 시스템을 제공합니다. 고유한 측정 기능과 강력하면서도 유동적인 ACS(Automated Characterization Suite) 소프트웨어를 함께 사용하여, 현재 시판 중인 어떤 유사 시스템에서도 제공되지 않는 포괄적인 애플리케이션과 기능을 이용할 수 있습니다. 

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Keithley Parametric Test Systems

S530 기능

  • 새 장치 및 테스트 요구 사항에 따라 즉시 적응 가능합니다.
  • 빠르고 유동적인 대화형 방식으로 테스트 계획을 개발할 수 있습니다.
  • 널리 사용되는 완전 자동 프로브 스테이션과 호환됩니다.
  • 1kV, C-V, 펄스 발생, 주파수 측정 및 저전압 측정용 옵션이 제공됩니다.
  • Keithley의 모델 9139A 프로브 카드 어댑터와 호환됩니다.
  • 기존의 5인치 프로브 카드 라이브러리를 재사용할 수 있습니다.
  • 우수성이 입증된 장치 기술이 적용되어 실험실과 제조 환경에서 모두 높은 측정 정확도와 반복성이 보장됩니다.

S535 기능

  • 다중 사이트 병렬 또는 시리얼 작업에서 모든 웨이퍼 레벨 DC 파라메트릭 테스트를 자동으로 수행합니다. 단일 프로브 터치다운에서 2개 또는 4개 사이트를 테스트합니다.
  • 최대 64개 테스트 핀: 동시에 4개 사이트 테스트, 사이트당 16개 핀, 동시에 2개 사이트 테스트, 사이트당 32개 핀, 단일 사이트, 시리얼 작업, 64개 핀
  • Up to 100 W operation: 100 V @ 1 A; 200 V @ 100 mA
  • 1 fA, 10 nV resolution in a high-speed, multi-pin, fully-automated test environment
  • 레거시 키슬리 테스트 시스템과의 호환, 쉬운 테스트 개발 및 빠른 실행 환경을 위한 Linux 기반 KTE(Keithley Test Environment) 시스템 소프트웨어입니다.
  • 키슬리 S530 스타일 프로브 카드 인프라는 레거시 S400 애플리케이션도 지원합니다.

S540 기능

  • 케이블 또는 프로브 카드 인프라를 변경하지 않고 단일 프로브 터치 다운에서 최대 48개 핀에 대해 고전압 브레이크 다운, 커패시턴스 및 저전압 측정을 비롯한 모든 웨이퍼 레벨 파라메트릭 테스트를 자동으로 수행
  • 테스트 핀의 수동 재구성 없이 최대 3kV에서 Ciss, Coss 및 Crss와 같은 트랜지스터 커패시턴스 측정 수행
  • 고속, 다중 핀, 완전 자동화 테스트 환경에서 낮은 레벨의 측정 수행
  • Linux 기반 KTE(Keithley 테스트 환경) 시스템 소프트웨어를 사용하여 개발 테스트 및 실행을 빠르고 쉽게 진행 가능
  • 프로세스 통합, 프로세스 제어 모니터링 및 프로덕션 다이 정렬에서 전자동 또는 반자동 애플리케이션에 이상적임
  • 실험실 등급의 측정 성능을 유지하면서 테스트 시간, 테스트 설정 시간 및 실험실 공간을 최소화하여 소유 비용 절감

S500 기능

  • 펨토암페어 미만 단위의 측정을 비롯한 전체 SMU(소스 측정 장치) 장비 사양이 제공되므로 거의 모든 장치에서 폭넓은 측정이 가능합니다.
  • 메모리 특성화, 충전 펌핑, 단일 펄스 PIV(충전 트랩 분석) 및 PIV 스윕(자체 가열 방지)을 위한 펄스 발생 및 초고속 I-V가 제공됩니다.
  • Keithley의 시스템 활성화 및 확장 가능 SMU 장비를 통해 채널이 적거나 많은 시스템(병렬 테스트 포함)을 제공합니다.
  • 전력 MOSFET 및 디스플레이 드라이버와 같은 장치 테스트를 위한 고전압, 전류 및 전원 측정 장치가 제공됩니다.
  • 스위칭, 프로브 카드 및 케이블을 통해 시스템을 DUT에 연결할 수 있습니다.
S530 KTE Pulse Generator Manual
S530 KTE Pulse Generator Manual
S530/S530-HV Parametric Test Systems

참고자료 번호: 1KW-60240-1
Datasheet
9139B Probe Card Adapter
The 9139B-PCA Probe Card Adapter is an option for Keithley’s S530 and S535 Parametric Test Systems and S500 Integrated Test Systems.  It also provides probe-card compatibility with Keithley’s previous generation S400 Parametric Test System.

참고자료 번호: 1KW-61585-0
Datasheet
S535 Multi-Site Wafer Acceptance Test System

참고자료 번호: 1KW-61422-0
Datasheet
S540 Power Semiconductor Test System Datasheet
The Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of …

참고자료 번호: 1KW-60909-1
Datasheet
S500 Data Sheet
Datasheet
KIGEM Automation Software Release Notes
The release notes for KIGEM 5.7.2b.

Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test system provides an interface that complies with both the traditional SECS/GEM standards and the newer set of 300mm SEMI standards. It allows S530 systems to be integrated into fully-automated semiconductor fabrication facilities.


부품 번호: KIGEM-910-01B
릴리스 노트
S530-S535-S540 KTE 5.8.2 Release Notes

This document contains information on enhancements, critical and noncritical fixes, and known issues for each released version of the Keithley Test Environment (KTE) software.


부품 번호: PA-1036V
릴리스 노트
Making Ring Oscillator Measurements with the Model S530 Parametric Test System's Frequency Measurement Option
애플리케이션 노트
9140A Probe Card Adapter Gerber Files
사양
9139B Probe Card Adapter Gerber Files
사양
Measuring MOSFET Gate Charge Using the S530 and S540 Parametric Test Systems
This application note describes how to make gate charge measurements on a MOSFET based on the JEDEC Gate Charge Test Method.

참고자료 번호: 1KW-61389-0
애플리케이션 노트
Understanding Control Systems and Communications for Today's Automobiles
팩트 시트
Multi-Site Parallel Testing with the S535 Wafer Acceptance Test System
In semiconductor wafer production, minimizing the cost of test has been identified as the number one challenge.  The biggest factor in the cost of test, as well as in the cost of test system ownership, is throughput of the tester/prober combination …

참고자료 번호: 1KW-61423-0
애플리케이션 노트
S540 Power Semiconductor Test System Specifications
Specifications document for S540 Power Semiconductor Test System

참고자료 번호: SPEC-S540A
사양
S530 Parametric Test Systems with KTE - Quick and Seamless Integration with Existing S400 and S600 Systems
브로슈어
S530 Parametric Test System Specifications
S530 Parametric Test System Specifications

참고자료 번호: SPEC-S530D
사양
S535 Wafer Acceptance Test System Specifications
Specifications document for S535 Wafer Acceptance Test System

참고자료 번호: SPEC-S535A
사양
S530 Semiconductor Parametric Test System: Cost effective, high throughput solutions
팩트 시트
Test Methods for Automobile Communication and Control Systems
팩트 시트
Achieving Maximum Throughput with Keithley S530 Parametric Test Systems
Keithley Instruments is a world leader in the development of precision DC electrical instruments and integrated parametric test systems. Its expertise in parametric test technology goes back to the early days of the semiconductor industry and …
애플리케이션 노트
Wafer Level Reliability Systems
브로슈어
Greater Reliability Testing Confidence from Lab to Fab - Wafer Level Reliability Test Solutions
Keithley Instruments has long been an industry leader in both overall parametric test technology and wafer level reliability (WLR) testing. Several generations of Keithley’s parametric test solutions have offered WLR test algorithm libraries as …
포스터
Gearing Up for Parametric Test's High Voltage Future
백서
Performing van der Pauw Sheet Resistance Measurements Using the Keithley S530 Parametric Tester
애플리케이션 노트
Programming and Erasing Flash Memory Devices Using the Keithley S530 Pulse Generator Option
애플리케이션 노트
High Voltage Wafer Testing in a Production Environment with the HV S540 Parametric Test System

참고자료 번호: 1KW-60936-2
애플리케이션 노트
Touch, Test, Invent with the Next Generation Current and Voltage Source-Measure Instruments
팩트 시트