Keithley 파라메트릭 테스트 시스템

S530 파라메트릭 테스트 시스템 은 광범위한 기기와 기술을 처리해야 하는 생산 및 실험실 환경용으로 설계되었으며 업계 최고 레벨의 유동적인 테스트 플랜, 자동화, 프로브 스테이션 통합 및 테스트 데이터 관리 기능을 제공합니다. 키슬리는 이러한 테스트 솔루션의 설계와 관련하여 전 세계 고객에게 광범위한 표준 및 사용자 정의 파라메트릭 테스터를 30년 이상 제공해 온 전문 업체입니다.

S535 멀티 사이트 웨이퍼 인수 테스트 시스템 은 제조 워크플로우에 걸친 다양한 애플리케이션에서 아날로그, 전력, 혼합 신호 및 디스크리트 소재 테스트용 고전력, 고해상도의 웨이퍼 레벨 솔루션입니다. 종래의 비동기식 병렬 테스트 체계는 한 사이트의 여러 기기를 동시에 테스트하지만, 이와 달리 S535의 멀티 병렬(multi-parallel) 테스트 방법은 여러 사이트의 여러 기기를 동시에 테스트합니다. 이를 통해 프로버 인덱스 시간을 2배 이상 단축하여 제조 생산성을 높이고 테스트 비용을 절감할 수 있습니다.

540 파라메트릭 테스트 시스템 은 최대 3kV의 전력 반도체 기기 및 구조에 대해 웨이퍼 레벨 테스트를 수행하기 위한 전자동 48핀 파라메트릭 테스트 시스템입니다. SiC(탄화규소), GaN(질화칼륨)을 포함하는 최신 합성 전력 반도체 물질에서 사용하도록 최적화된 이 완전 통합형 S540은 단일 프로브 터치 다운에서 모든 저전압, 저전압 및 커패시턴스 테스트를 수행할 수 있습니다.

S500 통합 테스트 시스템 은 기기, 웨이퍼 또는 카세트 레벨의 반도체 특성화를 위해 고도로 구성 가능한 장비 기반 시스템입니다. 우수성이 입증된 Keithley의 장치를 기반으로 구축된 S500 통합 테스트 시스템은 혁신적인 측정 기능 및 요구 사항에 맞게 확장 가능한 유동적인 시스템을 제공합니다. 고유한 측정 기능과 강력하면서도 유동적인 ACS(Automated Characterization Suite) 소프트웨어를 함께 사용하여, 현재 시판 중인 어떤 유사 시스템에서도 제공되지 않는 포괄적인 애플리케이션과 기능을 이용할 수 있습니다. 

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Keithley Parametric Test Systems

S530 기능

  • 새 장치 및 테스트 요구 사항에 따라 즉시 적응 가능합니다.
  • 빠르고 유동적인 대화형 방식으로 테스트 계획을 개발할 수 있습니다.
  • 널리 사용되는 완전 자동 프로브 스테이션과 호환됩니다.
  • 1kV, C-V, 펄스 발생, 주파수 측정 및 저전압 측정용 옵션이 제공됩니다.
  • Keithley의 모델 9139A 프로브 카드 어댑터와 호환됩니다.
  • 기존의 5인치 프로브 카드 라이브러리를 재사용할 수 있습니다.
  • 우수성이 입증된 장치 기술이 적용되어 실험실과 제조 환경에서 모두 높은 측정 정확도와 반복성이 보장됩니다.

S535 기능

  • 다중 사이트 병렬 또는 시리얼 작업에서 모든 웨이퍼 레벨 DC 파라메트릭 테스트를 자동으로 수행합니다. 단일 프로브 터치다운에서 2개 또는 4개 사이트를 테스트합니다.
  • 최대 64개 테스트 핀: 동시에 4개 사이트 테스트, 사이트당 16개 핀, 동시에 2개 사이트 테스트, 사이트당 32개 핀, 단일 사이트, 시리얼 작업, 64개 핀
  • Up to 100 W operation: 100 V @ 1 A; 200 V @ 100 mA
  • 1 fA, 10 nV resolution in a high-speed, multi-pin, fully-automated test environment
  • 레거시 키슬리 테스트 시스템과의 호환, 쉬운 테스트 개발 및 빠른 실행 환경을 위한 Linux 기반 KTE(Keithley Test Environment) 시스템 소프트웨어입니다.
  • 키슬리 S530 스타일 프로브 카드 인프라는 레거시 S400 애플리케이션도 지원합니다.

S540 기능

  • 케이블 또는 프로브 카드 인프라를 변경하지 않고 단일 프로브 터치 다운에서 최대 48개 핀에 대해 고전압 브레이크 다운, 커패시턴스 및 저전압 측정을 비롯한 모든 웨이퍼 레벨 파라메트릭 테스트를 자동으로 수행
  • 테스트 핀의 수동 재구성 없이 최대 3kV에서 Ciss, Coss 및 Crss와 같은 트랜지스터 커패시턴스 측정 수행
  • 고속, 다중 핀, 완전 자동화 테스트 환경에서 낮은 레벨의 측정 수행
  • Linux 기반 KTE(Keithley 테스트 환경) 시스템 소프트웨어를 사용하여 개발 테스트 및 실행을 빠르고 쉽게 진행 가능
  • 프로세스 통합, 프로세스 제어 모니터링 및 프로덕션 다이 정렬에서 전자동 또는 반자동 애플리케이션에 이상적임
  • 실험실 등급의 측정 성능을 유지하면서 테스트 시간, 테스트 설정 시간 및 실험실 공간을 최소화하여 소유 비용 절감

S500 기능

  • 펨토암페어 미만 단위의 측정을 비롯한 전체 SMU(소스 측정 장치) 장비 사양이 제공되므로 거의 모든 장치에서 폭넓은 측정이 가능합니다.
  • 메모리 특성화, 충전 펌핑, 단일 펄스 PIV(충전 트랩 분석) 및 PIV 스윕(자체 가열 방지)을 위한 펄스 발생 및 초고속 I-V가 제공됩니다.
  • Keithley의 시스템 활성화 및 확장 가능 SMU 장비를 통해 채널이 적거나 많은 시스템(병렬 테스트 포함)을 제공합니다.
  • 전력 MOSFET 및 디스플레이 드라이버와 같은 장치 테스트를 위한 고전압, 전류 및 전원 측정 장치가 제공됩니다.
  • 스위칭, 프로브 카드 및 케이블을 통해 시스템을 DUT에 연결할 수 있습니다.