Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.

최신 소프트웨어를 PC에서 무료로 사용하세요 .

Product-series_4200-promo-options

DC 전류-전압
(I-V) 범위

10aA - 1A
0.2µV – 210V

커패시턴스-전압
(C-V) 범위

1kHz – 10MHz
± 30V DC 바이어스

펄스형 I-V
범위

±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/sec, 5ns 샘플링 레이트

 

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

파라메트릭 분석 정보를 빠르고 선명하게 제공

확실한 분석 기능을 발전시키는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 설정부터 특성화 테스트 실행 단계까지 소요되는 시간을 최대 50%까지 단축해 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공할 수 있습니다. 또한 임베디드 측정 전문 지식을 통해 최상의 테스트 지침을 제공하고 결과로 도출된 측정값에 대해 최고의 신뢰도를 부여합니다.

주요 특징

  • DC I-V, C-V 및 펄스형 I-V 측정 유형에 사용되는 고급 측정 하드웨어
  • Clarius 소프트웨어에 포함된 사용자 수정 가능한 수백 가지의 애플리케이션 테스트를 통해 즉시 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 작성 및 분석 기능

정확한 C-V 특성화

키슬리의 최신 커패시턴스-전압 장치(CVU), 4215-CVU로 한 자릿수 펨토패럿을 측정해 보십시오. 업계를 선도하는 키슬리의 CVU 아키텍처에 1V AC의 소스를 통합하면 4215-CVU에서 1kHz ~ 10MHz의 주파수에서 낮은 노이즈의 커패시턴스 측정값을 제공합니다.

주요 특징

  • 1V AC의 소스 전압을 구동할 수 있는 동급 최초의 C-V 미터
  • 1kHz의 주파수 분해능(범위: 1 kHz ~ 10MHz)
  • 커패시턴스, 전도도 및 어드미턴스 측정
  • 4200A-CVIV 멀티스위치로 최대 네 개의 채널 측정

4215-CVU로 펨토패럿(1e-15F) 커패시턴스 측정

Accurate C-V Characterization

측정. 전환. 반복

4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요 특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기

I-V 특성화를 위한 안정적인 저전류 측정

4201-SMU 및 4211-SMU 모듈을 사용하면 고커패시턴스 시스템에서 안정적인 저전류 측정을 달성할 수 있습니다. 선택 가능한 네 가지 모델의 SMU(source measure unit)를 통해 모든 I-V 측정 요구 사항에 맞추어 4200A-SCS를 사용자 정의할 수 있습니다. 키슬리는 현장 설치 가능한 장치와 선택적인 프리앰프 모듈을 제공함으로써 다운타임이 거의 없이 가장 정확한 저전류 측정을 수행하도록 해줍니다.

4201-SMU 및 4211-SMU를 사용해 높은 테스트 연결 커패시턴스로 안정적인 저전류 측정 수행하기

주요 특징

  • 장비를 공장에 되돌려 보내지 않고 SMU 추가
  • 펨토암페어 측정하기
  • 최대 9개 SMU 채널
  • 긴 케이블 또는 큰 척에 최적화

분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된

4200A-SCS 파라미터 분석기는 MPI Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336 극저온 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동/반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요 특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀싱
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능

비용 절감 및 투자 보호

Keithley 케어 플랜은 요청 시 서비스 이벤트 비용의 일부만으로 신속한 고품질 서비스를 제공합니다. 클릭 한 번이나 전화 한 통화로 수리 보증을 확보하여 견적서나 구매 주문서가 필요하지 않고 승인이 지연되지도 않습니다.

자세히 보기

 

데이터 시트 모델 설명 가격
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PKA
고해상도 IV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 1개
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PKB
고해상도 IV 및 CV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 1개
4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PKC
고전력 IV 및 CV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4211-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 고전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 2개
4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치 1개
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
데이터 시트 보기 4200-BTI-A
초고속 NBTI/PBTI
최첨단 실리콘 CMOS 기술에 대한 복잡한 NBTI 및 PBTI 측정에 최적화된 패키지 4200-BTI-A에는 다음이 포함됩니다.
  • (1) 4225-PMU 초고속 I-V 모듈
  • (2) 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈
  • ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어
  • 초고속 BTI 테스트 프로젝트 모듈
  • 케이블
견적 요청
4210CVU-2

펨토패럿 커패시턴스 측정

4215-CVU 모듈로 펨토패럿(femtofarad) 이하의 커패시턴스를 측정해 보십시오. 1V AC를 구동하면 4215-CVU에서 1fF 커패시터를 측정할 때 6아토패럿(attofarad)만큼이나 낮은 노이즈 레벨을 달성할 수 있습니다. 이는 커패시턴스를 측정하고 중요한 파라미터를 측정하기 위한 Clarius 소프트웨어에 포함된 수십 개의 애플리케이션 중 하나에 불과합니다.

4215-CVU로 펨토패럿(1e-15F) 커패시턴스 측정

옵션 커패시턴스 및 AC 임피던스 측정

주요 특징

  • 내장 펨토패럿 측정 기능
  • 1kHz에서 10MHz에 이르는 10,000개의 주파수 단계
  • 사용자 라이브러리로 장치에 대한 테스트 사용자 정의

반도체 및 NVM 안정성

완벽한 펄스형 I-V 특성화로 테스트에 새로운 기술을 투입합니다. 4200A-SCS에는 플로팅 게이트 플래시부터 ReRAM 및 FeRAM에 이르는 NVRAM 기술에 대한 지원 및 실행 준비가 완료된 테스트가 포함되어 있습니다. 전류 및 전압에 대한 듀얼 소싱 및 측정 기능을 통해 과도 및 I-V 도메인 특성화가 가능합니다.

MOSFET 장치의 Hot Carrier Induced Degradation 평가

비휘발성 메모리 테스트를 위한 단일 나노초 펄스 솔루션

Non-volatile 메모리에 대한 펄스 I-V 특성화 기술

Semiconductor and NVM Reliability
C-V Measurement for High Impedance Applications

높은 임피던스 응용 사례에 대한 C-V 측정

Keithley의 사용자 정의 초저주파수 C-V 기법을 사용하여 높은 저항 샘플의 커패시턴스를 분석합니다. 이 기법은 SMU(Source Measure Unit) 장비만 사용하여 수행되지만 더 높은 주파수 측정을 위해 4210-CVU와 함께 사용할 수도 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석기를 사용하여 높은 임피던스 장치에 대해 초저주파수 커패시턴스-전압 측정 수행

MOSFET/MOSCAP 장치 특성화를 간소화하기 위한 팁과 기술

주요 특징

  • 1pF - 10nF 민감도의 .01 - 10Hz 주파수 범위
  • 3½ digits 일반 분해능, 최소 일반 10fF

긴 케이블 또는 커패시턴스 픽스쳐를 사용하는 경우의 테스트

매우 긴 케이블이나 고캐패시턴스 픽스쳐가 필요한 테스트에는 4201 또는 4211-SMU를 사용하십시오. 이러 SMU는 LCD 테스트 스테이션, 프로버, 스위치 매트릭스 또는 기타 크고 복잡한 테스터에 연결하는 데 이상적입니다. 현장 설치 가능 버전을 사용하면 장치를 서비스 센터로 반송하지 않고도 용량을 추가할 수 있습니다.

Testing when using Long Cables or Capacitive Fixtures
Nanoscale Device Characterization

나노급 장치 특성화

4200A-SCS의 통합 장비 기능은 탄소 나노 튜브와 같은 나노급 전자 제품을 개발할 때의 측정 요구 사항을 간소화합니다. 미리 구성된 테스트 프로젝트에서 조사를 시작하고 작업 영역을 확장합니다. SMU의 펄스형 소스 모드는 저전압 C-V 및 초고속 펄스형 DC 측정(초 단위)과 결합되어 과열 문제를 줄이는 데 도움을 줍니다.

탄소 나노 튜브 트랜지스터(CNT FET)의 전기 특성화

물질 저항률

통합 SMU와 함께 4200A-SCS를 사용하여 4포인트 공직선형(collinear) 프로브 또는 면저항 측정법(van der Pauw)으로 저항률을 쉽게 측정할 수 있습니다. 포함된 테스트는 반복적인 면저항 측정 계산을 자동으로 수행하여 귀중한 연구 시간을 절감합니다. 최대 전류 분해능 10aA 및 10­­­­16옴 이상의 입력 임피던스를 사용하여 보다 정확하고 정밀한 결과를 얻을 수 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석법 및 4점 공선형 프로브를 사용하여 반도체 물질의 저항률 측정

4200A-SCS 파라미터 분석기를 통한 면 저항 측정 및 홀 전압 측정

Resistivity of Materials
MOSFET Characterization

MOSFET 특성화

4200A-SCS는 컴포넌트 또는 웨이퍼상 테스트를 통해 MOS 장치의 전체 특성화에 필요한 모든 장비를 보유할 수 있습니다. 포함된 테스트 및 프로젝트는 MOSCap의 산화물 두께, 임계 전압, 도핑 농도, 이동 이온 농도 등을 해석합니다. 이러한 모든 테스트는 단일 장비 박스의 버튼을 터치하여 실행할 수 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석기를 사용하여 MOS 커패시터(capacitors) C-V 특성화

데이터 시트 모듈 설명 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200-PA 원격 프리앰프 모듈 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200-SMU 중간 전력 SMU(소스 측정 장치) 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-CVIV 멀티 스위치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4225-PMU 초고속 펄스 측정 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4220-PGU 고전압 펄스 발생기 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4210-CVU 커패시턴스-전압 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4210-SMU 고전력 소스 측정 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4200-BTI-A 초고속 BTI PKG 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4215-CVU 커패시턴스-전압 장치 구성 및 견적 요청
데이터 시트 보기 4211-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT 구성 및 견적 요청