Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 애널라이저인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.

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DC 전류-전압
(I-V) 범위

10aA - 1A
0.2µV - 210V

커패시턴스-전압
(C-V) 범위

1kHz – 10MHz
± 30V DC 바이어스

펄스형 I-V
범위

±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도

 

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

빠르고 선명한 파라메트릭 분석 정보 제공

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확실한 분석을 수행하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 특성화 복잡성 및 테스트 설정을 최대 50%까지 줄여 명확하고 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공합니다. 또한 업계 최초의 임베디드 측정 기술을 통해 테스트 지침을 제공하고 결과에 대한 최고의 확신을 부여합니다.

주요 특징

  • 영어, 중국어, 일본어, 한국어로 제작된 측정 비디오 포함
  • 사용자가 수정할 수 있는 수백 개의 애플리케이션 테스트로 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 그래프 작성, 산술 함수

측정. 전환. 반복

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4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요 특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기

특성화. 사용자 정의. 최대화

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간단히 말해 4200A-SCS는 완전히 사용자 정의가 가능하며 업그레이드가 가능하므로 반도체 장치, 신소재, 액티브/패시브 구성 요소, 웨이퍼 레벨 안정성, 고장 분석, 전기 화학 또는 사실상 모든 유형의 샘플에 대한 전기 특성 평가 및 평가를 수행할 수 있습니다.

주요 특징

  • NBTI/PBTI 테스트
  • 무작위 전신 노이즈
  • 비휘발성 메모리 장치
  • 전위 가변기 애플리케이션 테스트

분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된 솔루션

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4200A-SCS 파라미터 분석기는 Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336 극저온 온도 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동 및 반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요 특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀스
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능

 

반도체 안정성

4200A-SCS에서 복잡한 코딩에 유의하도록 하면서 복잡한 안정성 테스트를 수행합니다. HCI(Hot Carrier Injection Degradation)과 같은 포함된 프로젝트는 장치 분석을 빠르게 시작할 수 있도록 지원합니다.

주요 특징

  • DC I-V, C-V 및 펄스 측정을 하나의 테스트 세트에 결합
  • 여러 프로브 스테이션 및 외부 장비에 대한 지원 포함
  • 사용하기 쉬운 사이클 시스템을 사용하여 코딩 없이 반복 측정 가능

높은 임피던스 응용 사례에 대한 C-V 측정

Keithley의 사용자 정의 초저주파수 C-V 기법을 사용하여 높은 저항 샘플의 커패시턴스를 분석합니다. 이 기법은 SMU(Source Measure Unit) 장비만 사용하여 수행되지만 더 높은 주파수 측정을 위해 4210-CVU와 함께 사용할 수도 있습니다.

주요 특징

  • 1pF - 10nF 민감도의 .01 - 10Hz 주파수 범위
  • 3½ digits 일반 분해능, 최소 일반 10fF

Non-volatile 메모리

완벽한 펄스형 I-V 특성화로 테스트에 새로운 기술을 투입합니다. 4200A-SCS에는 플로팅 게이트 플래시부터 ReRAM 및 FeRAM에 이르는 NVRAM 기술에 대한 지원 및 실행 준비가 완료된 테스트가 포함되어 있습니다. 전류 및 전압에 대한 듀얼 소싱 및 측정 기능을 통해 과도 및 I-V 도메인 특성화가 가능합니다.

VCSEL 테스트

4200A-SCS의 여러 동시 SMU(Source Measure Unit) 장비로 레이저 다이오드 테스트를 간편하게 수행할 수 있습니다. 단일 박스에만 연결된 LIV(광도-전류-전압) 곡선을 생성합니다. 고급 프로브 스테이션 및 스위치 지원으로 이제 개별 다이오드 또는 전체 배열의 웨이퍼상 프러덕션 테스트에 같은 장비를 사용할 수 있습니다. SMU는 다양한 CW(연속파) VCSEL 응용 사례의 최대 21W 용량에 대해 구성할 수 있습니다.

나노급 장치 특성화

4200A-SCS의 통합 장비 기능은 탄소 나노 튜브와 같은 나노급 전자 제품을 개발할 때의 측정 요구 사항을 간소화합니다. 미리 구성된 테스트 프로젝트에서 조사를 시작하고 작업 영역을 확장합니다. SMU의 펄스형 소스 모드는 저전압 C-V 및 초고속 펄스형 DC 측정(초 단위)과 결합되어 과열 문제를 줄이는 데 도움을 줍니다.

물질 저항률

통합 SMU와 함께 4200A-SCS를 사용하여 4포인트 공선형 프로브 또는 면 저항 측정법을 통해 저항률을 쉽게 측정할 수 있습니다. 포함된 테스트는 반복적인 면저항 측정 계산을 자동으로 수행하여 귀중한 연구 시간을 절감하도록 합니다. 최대 전류 분해능 10aA 및 10­­­­16Ohm 초과의 입력 임피던스를 사용하여 보다 정확하고 정밀한 결과를 얻을 수 있습니다.

MOSFET 특성화

4200A-SCS는 컴포넌트 또는 웨이퍼상 테스트를 통해 MOS 장치의 전체 특성화에 필요한 모든 장비를 보유할 수 있습니다. 포함된 테스트 및 프로젝트는 MOSCap의 산화물 두께, 임계 전압, 도핑 농도, 이동 이온 농도 등을 해석합니다. 이러한 모든 테스트는 단일 장비 박스의 버튼을 터치하여 실행할 수 있습니다.

Data Sheet Module Description Configure and Quote
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG Configure & Quote
4200-PA REMOTE PREAMPLIFIER MODULE Configure & Quote
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT Configure & Quote
4200A-CVIV I-V/C-V MULTI-SWITCH MODULE Configure & Quote
4210-CVU CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT Configure & Quote
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT Configure & Quote
4220-PGU HIGH VOLTAGE PULSE GENERATOR UNIT Configure & Quote
4225-PMU ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT Configure & Quote
4225-RPM REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE Configure & Quote
4200-SMU-R FIELD REPLACEABLE MPSMU Configure & Quote
4210-SMU-R FIELD REPLACEABLE HPSMU Configure & Quote
표제유형날짜
Using the 4200A-CVIV Multi-Switch to Make High Voltage and High Current C-V Measurements
This application note explains the implementation of the bias tee modes of the 4200A-CVIV to make high voltage C-V measurement. It assumes the reader is familiar with making C-V measurements with the Keithley 4200A-SCS using the CVIV.
Literature number: 1KW-61356-0
Application Note 17 Apr 2018
Switch Time between Pulse IV and CV measurements using the 4225-RPM.
The RPM eliminates the need to re-cable and increases switching speed between Pulsed IV and CV measurements.  However, we do not specify the switching time for the RPMs in the data sheets. A simple test using a MDO3102 yeided the below approximate switch…
FAQ ID: 469646 16 Apr 2018
Simplifying MOSFET and MOSCAP Device Characterization e-Guide
Answering Your Questions on Tools and TechniquesThis e-guide answers some common questions about making better semiconductor measurements, with a focus on DC I-V and capacitance-voltage (C-V) measurements. It also touches on more specific applications and how you can simplify making the measurements…
Literature number: 1KW-60780-1
Brochure 12 Apr 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.4.1
This version of Clarius+ is only supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS system with a Clarius+ release prior to V1.4, contact Keithley, a Tektronix company, at tek.com to upgrade the parameter analyzer.If installing on a personal…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.4.1
Application 28 Feb 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.4.1 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS.…
Part number: 077132605
28 Feb 2018
Upgrade Your 4200-SCS System and Protect Your Investment
Upgrade your 4200-SCS Parameter Analyzer to the 4200A-SCS - the industry's highest performance analyzer - and accelerate I-V, C-V, and ultra-fast pulsed I-V testing of your complex devices for materials research, semiconductor device design, process…
Literature number: 1KW-60873-1
Fact Sheet 22 Feb 2018
Does the 4200A-SCS support ICCAP?
Although the 4200ICCAP-6.0 driver is obsolete, the 4200A is ICCAP supported through the KXCI software.  The 4200 drivers in the KXCI software come with ICCAP in them and all KXCI programs for the 4200 are compatible with the 4200A. Note: ICCAP only…
FAQ ID: 255351 09 Feb 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.3

Part number: 4200A-CLARIUS-V1.3
Application 07 Feb 2018
Does Model 4200A-SCS support Model 590-CV meter like the Model 4200-SCS?
The Model 590-CV is a stand alone CV meter and can be controlled from either the 4200A-SCS and 4200-SCS using the KIXI (remote interface software).
FAQ ID: 249356 25 Jan 2018
Resettable fuse on the interlock circuit for model 4200A-SCS.
Yes, there is a resettable fuse. It takes several minutes to reset, please give it some time.This is discussed on page 4 and 5 of the included application note. Here is a link to the application note on the Tek website: https://www.tek.com/document/…
FAQ ID: 248681 22 Jan 2018
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