Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.

DC 전류-전압
(I-V) 범위

10aA - 1A
0.2µV - 210V

커패시턴스-전압
(C-V) 범위

1kHz - 10MHz
± 30V DC 바이어스

펄스형 I-V
범위

±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도

 

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

빠르고 선명한 파라메트릭 분석 정보 제공

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확실한 분석을 수행하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 특성화 복잡성 및 테스트 설정을 최대 50%까지 줄여 명확하고 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공합니다. 또한 업계 최초의 임베디드 측정 기술을 통해 테스트 지침을 제공하고 결과에 대한 최고의 확신을 부여합니다.

주요 특징

  • 영어, 중국어, 일본어, 한국어로 제작된 측정 비디오 포함
  • 사용자가 수정할 수 있는 수백 개의 애플리케이션 테스트로 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 그래프 작성, 산술 함수

측정. 전환. 반복

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4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요 특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기

특성화. 사용자 정의. 최대화

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간단히 말해 4200A-SCS는 완전히 사용자 정의가 가능하며 업그레이드가 가능하므로 반도체 장치, 신소재, 액티브/패시브 구성 요소, 웨이퍼 레벨 안정성, 고장 분석, 전기 화학 또는 사실상 모든 유형의 샘플에 대한 전기 특성 평가 및 평가를 수행할 수 있습니다.

주요 특징

  • NBTI/PBTI 테스트
  • 무작위 전신 노이즈
  • 비휘발성 메모리 장치
  • 전위 가변기 애플리케이션 테스트

분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된 솔루션

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4200A-SCS 파라미터 분석기는 Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, MicroManipulator, LakeShore Model 336 극저온 온도 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동 및 반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요 특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀스
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능

 

모델

Model 전류-전압(I-V) 범위 커패시턴스-전압(C-V) 범위 펄스형 I-V 범위 List Price
4200A-SCS 10aA ~ 1A
0.2µV ~ 210V
1kHz ~ 10MHz ±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도
구성 및 견적
Model4200A-SCS
전류-전압(I-V) 범위커패시턴스-전압(C-V) 범위펄스형 I-V 범위
10aA ~ 1A<br/> 0.2µV ~ 210V1kHz ~ 10MHz±40V(80V p-p), ±800mA<br/> 200MSa/초, 5ns 샘플링 속도
Model 전류-전압(I-V) 범위 커패시턴스-전압(C-V) 범위 펄스형 I-V 범위 List Price
4200A-SCS 10aA ~ 1A
0.2µV ~ 210V
1kHz ~ 10MHz ±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도
구성 및 견적
Model4200A-SCS
전류-전압(I-V) 범위커패시턴스-전압(C-V) 범위펄스형 I-V 범위
10aA ~ 1A<br/> 0.2µV ~ 210V1kHz ~ 10MHz±40V(80V p-p), ±800mA<br/> 200MSa/초, 5ns 샘플링 속도

Semiconductor Reliability

Perform complex reliability tests while letting the 4200A-SCS take care of the complex coding. Included projects like Hot Carrier Injection Degradation (HCI) give you a jump start on device analysis.

Highlights

  • Combine DC I-V, C-V, and pulse measurements in one set of tests
  • Included support for many probe stations and external instruments
  • Easy to use cycling system allows repeat measurements without coding

C-V Measurement for High Impedance Applications

Use Keithley’s custom Very Low Frequency C-V Technique to analyze the capacitance of your high resistance sample. This technique is performed using only source measure unit (SMU) instruments but can be combined with a 4210-CVU to perform higher frequency measurements as well.

Highlights

  • .01 to 10 Hz frequency range with sensitivity of 1 pF to 10 nF
  • 3½-digit typical resolution, minimum typical of 10 fF

Non-volatile Memory

Put your new technologies to the test with thorough pulsed I-V characterization. The 4200A-SCS comes with support and ready-to-run tests for the latest in NVRAM technologies from floating gate flash to ReRAM and FeRAM. Dual sourcing and measuring capabilities in current and voltage allow both transient and I-V domain characterization.

VCSEL Testing

Multiple, concurrent source measure unit (SMU) instruments in the 4200A-SCS simplify your laser diode testing. Generate LIV (Light intensity-Current-Voltage) curves with connections to only a single box. Advanced probe station and switch support means you can use the same instrument for on-wafer production testing of individual diodes or entire arrays. SMUs can be configured for up to 21 W capabilities for a variety of continuous wave (CW) VCSEL applications.

Nanoscale Device Characterization

The integrated instrument capabilities of the 4200A-SCS simplify the measurement requirements in developing nanoscale electronics such as carbon nanotubes. Start your investigations from a preconfigured test project and expand your work from there. A pulsed source mode for SMUs helps reduce overheating problems can be combined with low voltage C-V and ultra-fast pulsed DC measurements in seconds.

Resistivity of Materials

Use a 4200A-SCS with integrated SMUs to easily measure resistivity using a four-point collinear probe or van der Pauw method. Included tests perform repetitive van der Pauw calculations automatically, saving you valuable research time. A maximum current resolution of 10aA and input impedance of >10­­­­16 ohms give you more accurate and precise results.

MOSFET Characterization

The 4200A-SCS can hold all the instruments necessary for full characterization of MOS devices through component or on-wafer testing. Included tests and projects solve for oxide thickness of a MOSCap, threshold voltages, doping concentration, mobile ion concentration, and more. All these tests can be run at the touch of a button from a single instrument box.

데이터 시트 모델 설명 가격
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK1
고분해능 IV
210V/100mA, 0.1fA 분해능
2 및 3단자 장치의 경우 MOSFET, CMOS 특성화 패키지 4200A-SCS-PK1에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK2
고분해능 IV & CV
210V/100mA, 0.1fA 분해능, 1kHz - 10MHz
κ 유전이 높은 경우 미크론 미만 단위의 상세 CMOS 특성화 패키지 4200A-SCS-PK2에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 4210-CVU 커패시턴스 전압 모듈
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK3
고분해능 및 고전력 IV & CV
210V/1A, 0.1fA 분해능, 1kHz - 10MHz
전력 장치의 유전이 높은 경우 미크론 미만 단위의 상세 CMOS 장치 특성화 패키지 4200A-SCS-PK3에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (2) 4210-SMU
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 4210-CVU 커패시턴스 전압 모듈
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200-BTI-A
초고속 NBTI/PBTI
최첨단 실리콘 CMOS 기술에 대한 정교한 NBTI 및 PBTI 측정의 경우 패키지 4200-BTI-A에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • (1) 4225-PMU 초고속 I-V 모듈
  • (2) 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈
  • ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어
  • 초고속 BTI 테스트 프로젝트 모듈
  • 케이블링
견적 요청

 

Data SheetModuleDescription
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG FOR MODEL 4200-SCS
4200-PA REMOTE PREAMP OPT 4200-SMU AND 4210-SMU
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4200A-CVIV 멀티 스위치
4210-CVU 4210 CAPACITANCE VOLTAGE UNIT 1KHZ-10MHZ
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4220-PGU 듀얼 채널 펄스 발생기
4225-PMU ULTRA-FAST I-V MODULE FOR THE 4200-SCS
4225-RPM REMOTE AMPLIFIER/SWITCH FOR THE MODEL 4225-PMU
표제유형날짜
Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions

This document contains installation instructions for the Model 4200A-RM Rack-Mount Kit, a fixed rack-mount kit for cabinet mounting of the Keithley 4200A-SCS Semiconductor Characterization System.

Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions


Part number: 071348701
19 Oct 2017
Model 4200A-SCS Package 3 System Quick Start Guide
The Quick Start Guide for the Keithley Instruments 4200A-SCS-PK3 provides unpacking and basic connection information. It also provides step-by-step examples to allow you to familiarize yourself with the Parameter Analyzer.
Part number: 4200A-PK3-903-01A
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Semiconductor Characterization System Quick Start Guide
Brief introduction to the Keithley Instruments 4200A-SCS Parameter Analyzer, including unpacking and initial connection information.
Part number: 4200A-903-01A
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200-Compiler Installation Instructions
Installation instructions for the Model 4200-Compiler, a compiler that you can use to create user modules for the 4200A-SCS Parameter Analyzer and the 4200-SCS.
Part number: PA-1030E
Combined User/Service 28 Aug 2017
Modèle 4200A-SCS Liste d'Avertissements
List of documentation warnings for the Canadian market that are in both English and French.
Part number: 077126000
User 28 Aug 2017
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077134300
Declassification 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200A-SCS Parameter Analyzer's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077126200
Declassification 28 Aug 2017
4200A-SCS Parameter Analyzer Release Notes
The 4200A-SCS Clarius+ software application suite is the initial release of the software for the 4200A-SCS. Clarius+ software requires Microsoft Windows 7 on your 4200A-SCS Parameter Analyzer
Part number: 077132601
Release Notes 28 Aug 2017
Model 4210-MMPC-C Multi-Measurement Prober Cable Kit Quick Start Guide
This multi-measurement cable set is a collection of standard and custom connectors and accessories used to take I-V, C-V, and pulsed I-V measurements using a single prober cable setup.
Part number: PA-1001D
User 28 Aug 2017
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System Reference Manual
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization Suite Reference Manual KTEI v9.0
Part number: 4200-901-01P
28 Aug 2017
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