Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.

DC 전류-전압
(I-V) 범위

10aA - 1A
0.2µV - 210V

커패시턴스-전압
(C-V) 범위

1kHz - 10MHz
± 30V DC 바이어스

펄스형 I-V
범위

±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도

 

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

빠르고 선명한 파라메트릭 분석 정보 제공

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확실한 분석을 수행하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 특성화 복잡성 및 테스트 설정을 최대 50%까지 줄여 명확하고 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공합니다. 또한 업계 최초의 임베디드 측정 기술을 통해 테스트 지침을 제공하고 결과에 대한 최고의 확신을 부여합니다.

주요 특징

  • 영어, 중국어, 일본어, 한국어로 제작된 측정 비디오 포함
  • 사용자가 수정할 수 있는 수백 개의 애플리케이션 테스트로 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 그래프 작성, 산술 함수

측정. 전환. 반복

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4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요 특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기

특성화. 사용자 정의. 최대화

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간단히 말해 4200A-SCS는 완전히 사용자 정의가 가능하며 업그레이드가 가능하므로 반도체 장치, 신소재, 액티브/패시브 구성 요소, 웨이퍼 레벨 안정성, 고장 분석, 전기 화학 또는 사실상 모든 유형의 샘플에 대한 전기 특성 평가 및 평가를 수행할 수 있습니다.

주요 특징

  • NBTI/PBTI 테스트
  • 무작위 전신 노이즈
  • 비휘발성 메모리 장치
  • 전위 가변기 애플리케이션 테스트

분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된 솔루션

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4200A-SCS 파라미터 분석기는 Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, MicroManipulator, LakeShore Model 336 극저온 온도 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동 및 반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요 특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀스
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능

 

Model 전류-전압(I-V) 범위 커패시턴스-전압(C-V) 범위 펄스형 I-V 범위 List Price
4200A-SCS 10aA ~ 1A
0.2µV ~ 210V
1kHz ~ 10MHz ±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도
구성 및 견적
Model4200A-SCS
전류-전압(I-V) 범위커패시턴스-전압(C-V) 범위펄스형 I-V 범위
10aA ~ 1A<br/> 0.2µV ~ 210V1kHz ~ 10MHz±40V(80V p-p), ±800mA<br/> 200MSa/초, 5ns 샘플링 속도

Semiconductor Reliability

Perform complex reliability tests while letting the 4200A-SCS take care of the complex coding. Included projects like Hot Carrier Injection Degradation (HCI) give you a jump start on device analysis.

Highlights

  • Combine DC I-V, C-V, and pulse measurements in one set of tests
  • Included support for many probe stations and external instruments
  • Easy to use cycling system allows repeat measurements without coding

C-V Measurement for High Impedance Applications

Use Keithley’s custom Very Low Frequency C-V Technique to analyze the capacitance of your high resistance sample. This technique is performed using only source measure unit (SMU) instruments but can be combined with a 4210-CVU to perform higher frequency measurements as well.

Highlights

  • .01 to 10 Hz frequency range with sensitivity of 1 pF to 10 nF
  • 3½-digit typical resolution, minimum typical of 10 fF

Non-volatile Memory

Put your new technologies to the test with thorough pulsed I-V characterization. The 4200A-SCS comes with support and ready-to-run tests for the latest in NVRAM technologies from floating gate flash to ReRAM and FeRAM. Dual sourcing and measuring capabilities in current and voltage allow both transient and I-V domain characterization.

VCSEL Testing

Multiple, concurrent source measure unit (SMU) instruments in the 4200A-SCS simplify your laser diode testing. Generate LIV (Light intensity-Current-Voltage) curves with connections to only a single box. Advanced probe station and switch support means you can use the same instrument for on-wafer production testing of individual diodes or entire arrays. SMUs can be configured for up to 21 W capabilities for a variety of continuous wave (CW) VCSEL applications.

Nanoscale Device Characterization

The integrated instrument capabilities of the 4200A-SCS simplify the measurement requirements in developing nanoscale electronics such as carbon nanotubes. Start your investigations from a preconfigured test project and expand your work from there. A pulsed source mode for SMUs helps reduce overheating problems can be combined with low voltage C-V and ultra-fast pulsed DC measurements in seconds.

Resistivity of Materials

Use a 4200A-SCS with integrated SMUs to easily measure resistivity using a four-point collinear probe or van der Pauw method. Included tests perform repetitive van der Pauw calculations automatically, saving you valuable research time. A maximum current resolution of 10aA and input impedance of >10­­­­16 ohms give you more accurate and precise results.

MOSFET Characterization

The 4200A-SCS can hold all the instruments necessary for full characterization of MOS devices through component or on-wafer testing. Included tests and projects solve for oxide thickness of a MOSCap, threshold voltages, doping concentration, mobile ion concentration, and more. All these tests can be run at the touch of a button from a single instrument box.

데이터 시트 모델 설명 가격
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK1
고분해능 IV
210V/100mA, 0.1fA 분해능
2 및 3단자 장치의 경우 MOSFET, CMOS 특성화 패키지 4200A-SCS-PK1에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK2
고분해능 IV & CV
210V/100mA, 0.1fA 분해능, 1kHz - 10MHz
κ 유전이 높은 경우 미크론 미만 단위의 상세 CMOS 특성화 패키지 4200A-SCS-PK2에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 4210-CVU 커패시턴스 전압 모듈
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK3
고분해능 및 고전력 IV & CV
210V/1A, 0.1fA 분해능, 1kHz - 10MHz
전력 장치의 유전이 높은 경우 미크론 미만 단위의 상세 CMOS 장치 특성화 패키지 4200A-SCS-PK3에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (2) 4210-SMU
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 4210-CVU 커패시턴스 전압 모듈
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200-BTI-A
초고속 NBTI/PBTI
최첨단 실리콘 CMOS 기술에 대한 정교한 NBTI 및 PBTI 측정의 경우 패키지 4200-BTI-A에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • (1) 4225-PMU 초고속 I-V 모듈
  • (2) 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈
  • ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어
  • 초고속 BTI 테스트 프로젝트 모듈
  • 케이블링
견적 요청

 

Data SheetModuleDescription
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG FOR MODEL 4200-SCS
4200-PA REMOTE PREAMP OPT 4200-SMU AND 4210-SMU
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4200A-CVIV 멀티 스위치
4210-CVU 4210 CAPACITANCE VOLTAGE UNIT 1KHZ-10MHZ
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4220-PGU 듀얼 채널 펄스 발생기
4225-PMU ULTRA-FAST I-V MODULE FOR THE 4200-SCS
4225-RPM REMOTE AMPLIFIER/SWITCH FOR THE MODEL 4225-PMU
TitleTypeDate
Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions

This document contains installation instructions for the Model 4200A-RM Rack-Mount Kit, a fixed rack-mount kit for cabinet mounting of the Keithley 4200A-SCS Semiconductor Characterization System.

Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions


Part number: 071348701
25 Sep 2017
Model 4200A-SCS Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200A-SCS Parameter Analyzer's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077126200
Declassification 28 Aug 2017
4200A-SCS Parameter Analyzer Release Notes
The 4200A-SCS Clarius+ software application suite is the initial release of the software for the 4200A-SCS. Clarius+ software requires Microsoft Windows 7 on your 4200A-SCS Parameter Analyzer
Part number: 077132601
Release Notes 28 Aug 2017
Model 4210-MMPC-C Multi-Measurement Prober Cable Kit Quick Start Guide
This multi-measurement cable set is a collection of standard and custom connectors and accessories used to take I-V, C-V, and pulsed I-V measurements using a single prober cable setup.
Part number: PA-1001D
User 28 Aug 2017
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System Reference Manual
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization Suite Reference Manual KTEI v9.0
Part number: 4200-901-01P
28 Aug 2017
KTE Interactive V9.1 Service Pack 2 Software Release Notes & Installation Instructions
This document provides supplemental information regarding KTE Interactive V9.1 Service Pack 2 (SP2). This information includes detailed instructions describing how to install this service pack and and summary of fixes and enhancements included in KTE…
Part number: PA-895R
Release Notes 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual
The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed instruction for the 4200A. It includes hardware information, such as connection information and SMU, PGU, PMU, and CVU descriptions. It also includes descriptions of the Clarius,…
Part number: 4200A-901-01C
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200A Parameter Analyzer User's Manual
This User's Manual includes specific applications to help you get started quickly.
Part number: 4200A-900-01B
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS-PK2 Parameter Analyzer Quick Start Guide
The Quick Start Guide for the Keithley Instruments 4200A-SCS-PK2 provides unpacking and basic connection information. It also provides sample tests that you can use to familiarize yourself with the Parameter Analyzer.
Part number: 4200A-PK2-903-01A
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Package 3 System Quick Start Guide
The Quick Start Guide for the Keithley Instruments 4200A-SCS-PK3 provides unpacking and basic connection information. It also provides step-by-step examples to allow you to familiarize yourself with the Parameter Analyzer.
Part number: 4200A-PK3-903-01A
Primary User 28 Aug 2017
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