Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.

실시간 문의
DC 전류-전압
(I-V) 범위

10aA - 1A
0.2µV - 210V

커패시턴스-전압
(C-V) 범위

1kHz - 10MHz
± 30V DC 바이어스

펄스형 I-V
범위

±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도

 

Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

빠르고 선명한 파라메트릭 분석 정보 제공

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확실한 분석을 수행하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 특성화 복잡성 및 테스트 설정을 최대 50%까지 줄여 명확하고 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공합니다. 또한 업계 최초의 임베디드 측정 기술을 통해 테스트 지침을 제공하고 결과에 대한 최고의 확신을 부여합니다.

주요 특징

  • 영어, 중국어, 일본어, 한국어로 제작된 측정 비디오 포함
  • 사용자가 수정할 수 있는 수백 개의 애플리케이션 테스트로 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 그래프 작성, 산술 함수

측정. 전환. 반복

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4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요 특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기

특성화. 사용자 정의. 최대화

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간단히 말해 4200A-SCS는 완전히 사용자 정의가 가능하며 업그레이드가 가능하므로 반도체 장치, 신소재, 액티브/패시브 구성 요소, 웨이퍼 레벨 안정성, 고장 분석, 전기 화학 또는 사실상 모든 유형의 샘플에 대한 전기 특성 평가 및 평가를 수행할 수 있습니다.

주요 특징

  • NBTI/PBTI 테스트
  • 무작위 전신 노이즈
  • 비휘발성 메모리 장치
  • 전위 가변기 애플리케이션 테스트

분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된 솔루션

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4200A-SCS 파라미터 분석기는 Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, MicroManipulator, LakeShore Model 336 극저온 온도 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동 및 반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요 특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀스
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능

 

모델

모델 전류-전압(I-V) 범위 커패시턴스-전압(C-V) 범위 펄스형 I-V 범위 정가
4200A-SCS 10aA ~ 1A
0.2µV ~ 210V
1kHz ~ 10MHz ±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도
구성 및 견적
모델4200A-SCS
전류-전압(I-V) 범위커패시턴스-전압(C-V) 범위펄스형 I-V 범위
10aA ~ 1A<br/> 0.2µV ~ 210V1kHz ~ 10MHz±40V(80V p-p), ±800mA<br/> 200MSa/초, 5ns 샘플링 속도
모델 전류-전압(I-V) 범위 커패시턴스-전압(C-V) 범위 펄스형 I-V 범위 정가
4200A-SCS 10aA ~ 1A
0.2µV ~ 210V
1kHz ~ 10MHz ±40V(80V p-p), ±800mA
200MSa/초, 5ns 샘플링 속도
구성 및 견적
모델4200A-SCS
전류-전압(I-V) 범위커패시턴스-전압(C-V) 범위펄스형 I-V 범위
10aA ~ 1A<br/> 0.2µV ~ 210V1kHz ~ 10MHz±40V(80V p-p), ±800mA<br/> 200MSa/초, 5ns 샘플링 속도

Semiconductor Reliability

Perform complex reliability tests while letting the 4200A-SCS take care of the complex coding. Included projects like Hot Carrier Injection Degradation (HCI) give you a jump start on device analysis.

Highlights

  • Combine DC I-V, C-V, and pulse measurements in one set of tests
  • Included support for many probe stations and external instruments
  • Easy to use cycling system allows repeat measurements without coding

C-V Measurement for High Impedance Applications

Use Keithley’s custom Very Low Frequency C-V Technique to analyze the capacitance of your high resistance sample. This technique is performed using only source measure unit (SMU) instruments but can be combined with a 4210-CVU to perform higher frequency measurements as well.

Highlights

  • .01 to 10 Hz frequency range with sensitivity of 1 pF to 10 nF
  • 3½-digit typical resolution, minimum typical of 10 fF

Non-volatile Memory

Put your new technologies to the test with thorough pulsed I-V characterization. The 4200A-SCS comes with support and ready-to-run tests for the latest in NVRAM technologies from floating gate flash to ReRAM and FeRAM. Dual sourcing and measuring capabilities in current and voltage allow both transient and I-V domain characterization.

VCSEL Testing

Multiple, concurrent source measure unit (SMU) instruments in the 4200A-SCS simplify your laser diode testing. Generate LIV (Light intensity-Current-Voltage) curves with connections to only a single box. Advanced probe station and switch support means you can use the same instrument for on-wafer production testing of individual diodes or entire arrays. SMUs can be configured for up to 21 W capabilities for a variety of continuous wave (CW) VCSEL applications.

Nanoscale Device Characterization

The integrated instrument capabilities of the 4200A-SCS simplify the measurement requirements in developing nanoscale electronics such as carbon nanotubes. Start your investigations from a preconfigured test project and expand your work from there. A pulsed source mode for SMUs helps reduce overheating problems can be combined with low voltage C-V and ultra-fast pulsed DC measurements in seconds.

Resistivity of Materials

Use a 4200A-SCS with integrated SMUs to easily measure resistivity using a four-point collinear probe or van der Pauw method. Included tests perform repetitive van der Pauw calculations automatically, saving you valuable research time. A maximum current resolution of 10aA and input impedance of >10­­­­16 ohms give you more accurate and precise results.

MOSFET Characterization

The 4200A-SCS can hold all the instruments necessary for full characterization of MOS devices through component or on-wafer testing. Included tests and projects solve for oxide thickness of a MOSCap, threshold voltages, doping concentration, mobile ion concentration, and more. All these tests can be run at the touch of a button from a single instrument box.

데이터 시트 모델 설명 가격
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK1
고분해능 IV
210V/100mA, 0.1fA 분해능
2 및 3단자 장치의 경우 MOSFET, CMOS 특성화 패키지 4200A-SCS-PK1에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK2
고분해능 IV & CV
210V/100mA, 0.1fA 분해능, 1kHz - 10MHz
κ 유전이 높은 경우 미크론 미만 단위의 상세 CMOS 특성화 패키지 4200A-SCS-PK2에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 4210-CVU 커패시턴스 전압 모듈
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200A-SCS-PK3
고분해능 및 고전력 IV & CV
210V/1A, 0.1fA 분해능, 1kHz - 10MHz
전력 장치의 유전이 높은 경우 미크론 미만 단위의 상세 CMOS 장치 특성화 패키지 4200A-SCS-PK3에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • 4200A-SCS 파라미터 분석기
  • (2) 4200-SMU 모듈
  • (2) 4210-SMU
  • (1) 4200-PA 프리앰프
  • (1) 4210-CVU 커패시턴스 전압 모듈
  • (1) 샘플 장치가 포함된 8101-PIV 테스트 고정기
견적 요청
데이터 시트 보기 4200-BTI-A
초고속 NBTI/PBTI
최첨단 실리콘 CMOS 기술에 대한 정교한 NBTI 및 PBTI 측정의 경우 패키지 4200-BTI-A에 포함되는 구성 요소는 다음과 같습니다.
  • (1) 4225-PMU 초고속 I-V 모듈
  • (2) 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈
  • ACS(자동 특성화 제품군) 소프트웨어
  • 초고속 BTI 테스트 프로젝트 모듈
  • 케이블링
견적 요청

 

Data SheetModule설명
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG FOR MODEL 4200-SCS
4200-PA REMOTE PREAMP OPT 4200-SMU AND 4210-SMU
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4200A-CVIV 멀티 스위치
4210-CVU 4210 CAPACITANCE VOLTAGE UNIT 1KHZ-10MHZ
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4220-PGU 듀얼 채널 펄스 발생기
4225-PMU ULTRA-FAST I-V MODULE FOR THE 4200-SCS
4225-RPM REMOTE AMPLIFIER/SWITCH FOR THE MODEL 4225-PMU
표제유형날짜
I have lost the device library on the 4200A-SCS.
The best way to get the library back is to re-install Clarius the their system. It’s free from our Tek.com website. Here is the link :https://www.tek.com/software/clarius/1-3
FAQ ID: 247546 18 Jan 2018
Simplifying MOSFET and MOSCAP Device Characterization e-Guide
Answering Your Questions on Tools and Techniques
This e-guide answers some common questions about making better semiconductor measurements, with a focus on DC I-V and capacitance-voltage (C-V) measurements. It also touches on more specific applications and how you can simplify making the…
Literature number: 1KW-60780-1
Brochure 16 Jan 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.4

This version of Clarius+ is ONLY supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS, contact Keithley, a Tektronix company, at Tek.com to upgrade the parameter analyzer. If installing on a personal computer, ensure Windows 10 is the…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.4
Application 11 Jan 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.3 Software Release Notes

The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS. Clarius+ software requires Microsoft Windows 7 on your 4200A-SCS Parameter Analyzer. These release notes describe fixed issues and known issues in the software.
Part number: 077132603
09 Jan 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.4 Software Release Notes

The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS. Clarius+ software requires Microsoft Windows 10 on your 4200A-SCS Parameter Analyzer. These release notes describe fixed issues and known issues in the software.
Part number: 077132604
08 Jan 2018
Model 4200A-CVIV Multi-Switch User‚s Manual
The Keithley Instruments Model 4200A-CVIV Multi-Switch User‚s Manual provides detailed product, connection, accessory, application, and Clarius+…
User‚s manual for the 4200A CV-IV multi-switch.
Part number: 4200A-CVIV-900-01B
Primary User 08 Jan 2018
Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual
The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed instruction for the 4200A. It includes hardware information, such…
The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed instruction for the 4200A-SCS.
Part number: 4200A-901-01D
Primary User 08 Jan 2018
Keithley Instrumentation for Electrochemical Test Methods and Applications

This Application Note discusses electrochemistry disciplines in which Keithley instrumentation is used.
Application Note 04 Dec 2017
DC I-V and AC Impedance Testing of Organic FETs

This application note outlines how to optimize DC I-V and AC impedance measurements on OFETs using the 4200A-SCS Parameter Analyzer. Timing parameters, noise reduction, shielding, proper cabling, and other important measurement considerations for…
Literature number: 1KW-61313-0
Application Note 30 Nov 2017
Switching Between C-V and I-V Measurements Using the 4200A-CVIV Multi-Switch and 4200A-SCS Parameter Analyzer

This application note describes how to easily make I-V and C-V measurements on the same device without the need to change cables, which could potentially introduce errors or damage devices.
Literature number: 1KW-60635-0
Application Note 28 Nov 2017
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